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        振動感測器/漏液感測器/其他感測器

        可透過接觸來測量工件、測量?檢測設備或機械的振動、異常、傾斜角度、氣體流量,以及進行漏液檢測的感測器

        即使在線性輸出的情況下仍可測量設備?機械的振動狀態或異常的感測器。從些微振動到大幅振動的惡劣環境下均可測量

        以1μm的高精度來測量/判別尺寸的接觸感測器。在測量時的滑動動作上具備高度堅韌性,再加上輕巧的機體,可支援各種測量用途。

        備有帶狀?點狀?耐化學藥品/溫度型等多種漏液感測器。普遍使用於半導體製造裝置與無塵室等

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